SEMES

지난해 순수장비 매출 3조원을 초과 달성하였고, 6년 연속 세계 장비업계 TOP 10에 진입하는 성과를 거두었습니다.

반도체 제조공정에서 사용되는 세정, 에치, 포토트랙 장비를 중심으로 성장 중이며 Test & Package, 반도체 물류 자동화 설비, Display OLED 부문에서도 고르게 발전해 2030년까지 매출 5조원 달성을 통한 글로벌 TOP 5 진입을 목표로 하고 있습니다.

반도체 부문은 전공정 핵심장비인 세정(LOTUS, BLUEICE PRIME), 포토트랙(OMEGA-S, OMEGA-K), 에치(Michelan O3, Michelan C4) 장비를 비롯해 후공정 장비 (Bonder, Probe, Test Handler) 등을 생산하고 있습니다.

세메스가 세계 최초로 개발한 반도체 초임계 세정장비는 고온·고압으로 액화 이산화탄소를 초임계 상태로 만든 후 웨이퍼를 처리하는 핵심장비입니다. 기존의 회전 방식을 사용했을 때 나타나는 패턴 쓰러짐 현상을 개선하였으며 현재 경쟁사보다 확실한 경쟁우위를 확보하기 위해 초격차 전략을 추진하고 있습니다.

또한 미래성장을 견인할 전략제품으로 전공정 핵심장비인 에치장비를 개발, 현재 삼성전자 반도체 생산라인에 공급하고 있습니다. 에치장비는 그동안 미국과 일본의 몇몇 글로벌 장비메이커들만이 독점 생산하여 공급해 왔으나, 국내에서는 유일하게 세메스가 첫 양산개발에 성공하였습니다.

반도체 후공정 장비로는 반도체 패턴 웨이퍼의 전기적 특성 검사를 위해 테스터와 연결되는 장비인 차세대 프로브(Probe) SEMPRO PRIME 장비가 있습니다.

이 장비는 장비업계 최초로 세계 최고 권위의 독일 레드닷(Red Dot) 디자인 어워드에서 산업디자인 컨셉부문 최우수상을 받았습니다.

한편 국내 최초로 공장 물류자동화 핵심 장비인 OHT(OverHead Transport)를 삼성전자 양산라인에 공급하였습니다.

OHT는 반도체 웨이퍼가 담긴 용기(FOUP)를 자동 운반하는 시스템입니다.

이 시스템은 그동안 주로 일본으로부터 수입해 왔으나 세메스가 국내 최초로 개발에 성공해 상당한 수입대체 효과를 보고 있습니다.

디스플레이 부문은 잉크젯 및 AFC(Air Floating Coater) 장비를 개발 공급하고 있습니다.